2023年4月6日下午，智能自动化学科系列学术交流会议在9A103如期举行。交流会由秦世引教授主持，吸引了来自光电学科的研究生；学科教师与部分研究生参加本次学术报告会。

谢仲业博士分享了主题为“结构光照明高精度测量方法及其应用”的报告，基于结构光调制度解析的三维测量方法具有高精度、非接触、高适应性等优点，在微纳器件形貌检测领域中应用广泛。本报告主要讲述结构光照明三维测量方法的基本原理、发展趋势。在应用层面，本报告聚焦集成电路及新型显示中的核心部件掩膜缺陷检测问题，针对原有二维测量方法易出现漏检等问题，提出基于结构光调制结合横向扫描的掩膜缺陷检测方法，快速获得掩膜缺陷三维形貌数据，为缺陷检测提供可靠依据。

与会老师就报告中如何实现复杂微纳结构动态测量的实验方案、结构光扫描技术产业化的前景及空域相移方法在光滑曲面结构检测的应用与谢博士展开了深入的探讨。

结构光照明高精度测量方法及其应用研究报告会

（撰稿：王福杰；初审：李艳霞；复审：秦世引；终审：胡耀华）