【时间】2023年11月30日（周四）下午 14:30开始

【地点】线下讲座，9A103会议室

【主题】MEMS激光成像系统视景最大化的微镜驱动高性能切换控制技术

【主讲人介绍】

秦毅博士，2018年7月加入东莞理工学院，在硕士、博士、以及学院任教期间一直致力于微机电系统控制和微纳米器件控制问题的研究。目前，作为主要参与人参与国家自然科学基金项目与广东省自然科学基金，主持广东省粤莞联合基金青年基金，创新强校重点项目，已发表SCI/EI论文6篇，申请发明专利4项，授权1项，获得西门子认证Process Simulate教员证书。

【内容简介】

本项目基于侧面电极分布与吸合动态的特征关系，探究参数不确定和扰动下微纳尺度MEMS系统的控制策略，为解决MEMS激光成像系统微镜吸合特性导致扫描视景范围偏小及成像质量不高的瓶颈提供一个可参考的研究方案。基于此，凝练出本项目的三个科学性问题：(1)侧面电极分布与静电吸合动态的特征关系；(2)多模态切换下的暂态性能优化；(3)分散扩维系统的切换镇定/跟踪。项目基于MEMS微镜驱动原理，提出若干具有潜在优势的侧面电极设计方案，建立相应的数学模型，表征侧面电极与吸合动态特征关系。在此基础上，探索通过基于多模态切换/自抗扰的控制方法优化系统暂态性能，形成一体化的驱动/控制设计方法。围绕解决以上关键问题实现以下目标：(1)优化驱动设计实现低电压驱动下的大角度扫描；(2)在低信噪比不确定扰动下寻求高精度定位/跟踪控制算法；(3)平衡地降低调节时间和超调量，改善系统的暂态性能。